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御史成为监察官员，约自秦始。秦置御史大夫，职位仅次于丞相，主管弹劾、纠察官员过失诸事。《汉书·百官公卿表》：“监御史，秦官，掌监郡，汉省。”汉御史因职务不同有侍御史、治书侍御史。汉朝御史统归御史台领导，按职掌分为侍御史和治书侍御史，东汉末改刺史为州牧之前，汉朝的刺史也是监察官，也是御史的一种。
三国时，曹魏于殿中省置殿中侍御史，掌记录朝廷动静，纠弹百官朝仪。西晋，御史名目很多，开后代专门职务御史的先河，有督运御史、符节御史、检校御史等。北朝魏、齐沿设检校御史，隋改为监察御史。隋又改殿中侍御史为殿内侍御史。炀帝省殿内侍御史员数，增监察御史员数，又一度增设从九品的御史。